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分辨率测试卡

  • 产品型号:RT RC-05B
  • 更新时间:2024-05-10

简要描述:分辨率测试卡是一款采用最新半导体光刻技术制作的微型测试卡。它用于校准和监控系统分辨率,确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。

产品详情
品牌日本JIMA

日本JIMA RT RC-05B分辨率测试卡,JIMA分辨率测试卡详细介绍:

JIMA RT RC-05B分辨率测试卡是一款采用最新半导体光刻技术制作的微型分辨率测试卡


RC-05B 分辨率测试卡用于校准和监控系统分辨率,确保微焦点或纳米焦点X射线检测系统获得高质量的结果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m50 µ m)的分辨率。这对应于6微米和100微米(6 µ m100 µ m)之间的焦斑尺寸。

分辨率测试卡

16I&T布局,2x2 mm8x8 mm硅基,如上图

下图为尺寸为5 μm I&T的图像

分辨率测试卡

Au Slit的数量为3行和2个空格

宽度310 μmT形布局

宽度1550 μmI形布局L/S宽度

L/S宽度:3456789101520253035404550 μm


 
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